1. Метод реакционного спекания заключается в формовании кремниевого порошка или смеси кремниевого порошка и порошка нитрида кремния в соответствии с общим методом производства керамических изделий. Затем в печи азотирования выполняется предварительное азотирование при температуре 1150–1200 градусов. После достижения определенной прочности его можно обработать на станке, а затем подвергнуть дальнейшему азотированию при температуре 1350–1450 градусов в течение 18–36 часов, пока все не станет нитридом кремния. . Продукция, производимая таким образом, имеет точные размеры и стабильный объем.
2. Правило спекания горячим прессованием заключается в термическом формовании и спекании порошка нитрида кремния с небольшим количеством добавок (таких как MgO, Al2O3, MgF2, AlF3 или Fe2O3 и т. д.) при давлении более 19,6 МПа и 1600 ~. 1700 градусов. Как правило, изделия, изготовленные методом спекания горячим прессованием, имеют более высокую плотность и лучшие характеристики, чем изделия, изготовленные методом реакционного спекания. Свойства нитридкремниевой керамики, полученной этими двумя способами, приведены в таблице 1 приложения.
3. Искрово-плазменное спекание – еще один метод, позволяющий получить более чистые объемные материалы. Уплотненный порошок подвергается воздействию импульсов тока за очень короткое время (несколько секунд). В этом методе его можно использовать при степени 1500-1700. При такой температуре получается компактный и плотный блок нитрида кремния.
